俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy，简称AES）是一种极具价值的表面分析技术，由法国物理学家皮埃尔·俄歇（Pierre Auger）于1925年发现。尽管俄歇发现了这一现象，但真正将俄歇电子应用于材料表面分析则是在20世纪60

能谱 aes 溅射 分析器 能谱测量 2025-09-15 09:50  2